系統說明
本系統以電腦視覺方式檢測玻璃基板(Glass Substrate)板邊內部與表面上的缺陷, 基於高缺陷精度的需求, 本系統使用2組各2個Line Scan CCD(搭配透射式照明)排列成可含蓋整個玻璃基板長邊與短邊板緣, 在導輪上進行玻璃表面的即時掃描, 玻璃基板的實際影像將以與輸送速度同步的方式下被完整擷取。在處理過程中, 即時影像資料的擷取與缺陷分類將同時在4個CCD間進行, 這樣就可在指定的缺陷精度要求下做到與輸送速度無關的產品100%全檢保證。
適用玻璃(與Edge及Size相關之缺陷)
Flat glass 平面玻璃
Float glass 浮式玻璃
Coated glass 鍍膜玻璃
FPD glass 平板顯示器玻璃(Flat Panel Display)
Automotive glass 汽車玻璃
TFT glass 薄膜電晶體玻璃(Thin Film Transistor)
LCD glass 液晶顯示器玻璃(Liquid Crystal Display)
Special glass 特殊玻璃
缺陷檢測與分類
WGEIS-314使用一種多頻道的圖像擷取技術並且計算每個缺陷的多種特性, 再依完整的缺陷視覺特徵做即時可靠的缺陷分類, 最後系統依此結果判定邊緣缺陷和截角尺寸上的缺陷, 如:
Broken plates 破板
Edge breaks(inner or outer) 邊損(內或外部)
Corner breaks 角損
Corner Mark 角邊尺寸
Orientation(Alignment Mark) 基板方向
Glass Dimension 基板尺寸
系統特徵
本系統在生產環境中已因其完備的技術與經濟效益而被視為重要的品質管理工具, WGEIS-314主要用於線上自動檢測, 它提供可重現性且高精度的Edge檢測。它適用目前與未來的玻璃基板寬幅、尺寸及生產輸送速度。系統檢出的缺陷影像與數據可完整顯示於螢幕上, 對於基板上共通性的缺陷也可設定相關的警報參數來反應製程問題, 以做為線上即時問題排除的有效利器。
在截角的量測上可依設定的基板規格來判定基板的方向, 判定結果有: 混料、左右反置、前後倒置、尺寸不符等。系統量測的精度為40um, 基板尺寸規格的分類相差要在1.0mm以上, 共可設定20組的尺寸規格。 |
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